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熱式質(zhì)量流量計
熱式質(zhì)量流量計（Theermal Mass flowmeters,簡稱TMF）在國內(nèi)習(xí)慣稱為熱式流量計，是利用流體流過外熱源加熱的管道時產(chǎn)生的溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量流體質(zhì)量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低；流量范圍度大；高精度、高重復(fù)性和高可靠性；無可動部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測和控制等特點。
1.托馬斯流量計
2. 浸入型熱式質(zhì)量流量計
浸入型TMF是在原來熱線接觸式流量計的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種堅固型熱式質(zhì)量流量計，它解決了接觸式TMF在結(jié)構(gòu)上的缺陷，采用適用于工業(yè)應(yīng)用的堅固的高可靠性傳感器，近二十多年來得到了很快的發(fā)展。
① 浸入型熱式質(zhì)量流量計原理
② 浸入型熱式質(zhì)量流量的分類
③ 浸入型熱式質(zhì)量流量計的特點
3.熱分布型熱式質(zhì)量流量計
從圖6-14的曲線可知，浸入型TMF工作在曲線的后半段，質(zhì)量流量與溫差ΔT成反比，不能用來測量微小流量。熱分布型TMF是近二十多年來發(fā)展起來的測量微小氣體流量的儀表。它工作在圖6-14曲線的前半段，在一定的流量范圍內(nèi)，質(zhì)量流量與溫差ΔT成正比，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制備、石油化工、冶金、制藥、原子能等工業(yè)中微小氣體流量測量。

① 熱分布型熱式質(zhì)量流量計的原理
②熱分布型熱式質(zhì)量流量計的結(jié)構(gòu)與分類
③ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計的特點
A.熱分布型熱式質(zhì)量流量計的優(yōu)點
B.熱分布型熱式質(zhì)量流量計的缺點
④ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計的使用
4.邊界層流量計
① 邊界層流量計測量原理
② 邊界層流量計存在的問題