熱式質量流量計
熱式質量流量計（Theermal Mass flowmeters,簡稱TMF）在國內習慣稱為熱式流量計，是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質量流量。具有壓損低；流量范圍度大；高精度、高重復性和高可靠性；無可動部件以及可用于極低氣體流量監測和控制等特點。
1.托馬斯流量計
2.
浸入型熱式質量流量計
浸入型TMF是在原來熱線接觸式流量計的基礎上發展起來的一種堅固型熱式質量流量計，它解決了接觸式TMF在結構上的缺陷，采用適用于工業應用的堅固的高可靠性傳感器，近二十多年來得到了很快的發展。
① 浸入型熱式質量流量計原理
② 浸入型熱式質量流量的分類
③ 浸入型熱式質量流量計的特點
3.熱分布型熱式質量流量計
從圖6-14的曲線可知，浸入型TMF工作在曲線的后半段，質量流量與溫差ΔT成反比，不能用來測量微小流量。熱分布型TMF是近二十多年來發展起來的測量微小氣體流量的儀表。它工作在圖6-14曲線的前半段，在一定的流量范圍內，質量流量與溫差ΔT成正比，廣泛應用于半導體制備、石油化工、冶金、制藥、原子能等工業中微小氣體流量測量。
① 熱分布型熱式質量流量計的原理
②熱分布型熱式質量流量計的結構與分類
③ 熱分布型熱式質量流量計的特點
A.熱分布型熱式質量流量計的優點
B.熱分布型熱式質量流量計的缺點
熱分布型流量計的缺點是：
a. 對流量變化的響應較慢，一般在2~4秒之間，少數產品可達0.5~1秒，而有些型號儀表的響應時間長達十幾秒。
b. 所使用的氣體組分變化較大時，因cp值和傳熱系數的變化，對流量測量會帶來較大的誤差。
c. 對于測量管內徑很小的儀表，由于在管內結垢和沉積等因素，容易造成堵塞。
d. 小流量測量時，儀表會給被測氣體帶來相當的熱量。
④ 熱分布型熱式質量流量計的使用
4.邊界層流量計
① 邊界層流量計測量原理
② 邊界層流量計存在的問題
