熱式質(zhì)量流量計
熱式質(zhì)量流量計（Theermal Mass flowmeters,簡稱TMF）在國內(nèi)習慣稱為熱式流量計，是利用流體流過外熱源加熱的管道時產(chǎn)生的溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量流體質(zhì)量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低；流量范圍度大；高精度、高重復性和高可靠性；無可動部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測和控制等特點。
1.托馬斯流量計
2.
浸入型熱式質(zhì)量流量計
浸入型TMF是在原來熱線接觸式流量計的基礎上發(fā)展起來的一種堅固型熱式質(zhì)量流量計，它解決了接觸式TMF在結(jié)構(gòu)上的缺陷，采用適用于工業(yè)應用的堅固的高可靠性傳感器，近二十多年來得到了很快的發(fā)展。
① 浸入型熱式質(zhì)量流量計原理
② 浸入型熱式質(zhì)量流量的分類
③ 浸入型熱式質(zhì)量流量計的特點
3.熱分布型熱式質(zhì)量流量計
從圖6-14的曲線可知，浸入型TMF工作在曲線的后半段，質(zhì)量流量與溫差ΔT成反比，不能用來測量微小流量。熱分布型TMF是近二十多年來發(fā)展起來的測量微小氣體流量的儀表。它工作在圖6-14曲線的前半段，在一定的流量范圍內(nèi)，質(zhì)量流量與溫差ΔT成正比，廣泛應用于半導體制備、石油化工、冶金、制藥、原子能等工業(yè)中微小氣體流量測量。
① 熱分布型熱式質(zhì)量流量計的原理
②熱分布型熱式質(zhì)量流量計的結(jié)構(gòu)與分類
③ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計的特點
A.熱分布型熱式質(zhì)量流量計的優(yōu)點
B.熱分布型熱式質(zhì)量流量計的缺點
④ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計的使用
4.邊界層流量計
① 邊界層流量計測量原理
邊界層流量計是由托馬斯流量計發(fā)展而來的一種非接觸式流量計，可以用來測量氣體，也可以用于測量液體。
圖6-22為邊界層流量計的結(jié)構(gòu)原理。在測量管的外側(cè)繞一電加熱線圈，在電加熱絲兩側(cè)安裝兩個溫度計，將加熱絲夾在中間。當電加熱絲通電加熱時，加熱器向管道內(nèi)部提供熱量，通過管壁、邊界層將熱量傳遞到管內(nèi)流體。不管管內(nèi)流動是層流還是紊流，在管壁附近都存在一層邊界層。邊界層內(nèi)的熱傳遞可以看做是純導熱方式進行的，紊流流動時，由于管道材料的導熱性能很好，管道中心的紊流部分溫度也幾乎一樣，所以管壁外部與管道中心的溫度差ΔT幾乎完全發(fā)生在邊界層內(nèi)。其溫度分布如圖6-22下半部所示，實線為紊流情況下的分布，虛線為層流情況下分布。
設邊界層的傳熱系數(shù)為h，加熱線圈的有效傳熱面積為A，則單位時間傳遞給流體的熱量Q為：
Q=AΔTh (6-27)
邊界層的傳熱系數(shù)h 是質(zhì)量流量的函數(shù)，根據(jù)雷諾等的研究結(jié)果，紊流流動時，傳遞給流體的熱量Q與質(zhì)量流量qm之間有以下關(guān)系
